对于空气净化系统和空间的消毒，要求合理配置一定规格的臭氧发生器。目前在洁净室、食品厂、制药厂HVAC中央空调供风系统中安装的发生器有内置式和外置式两种。
目前普遍应用的内置式臭氧系统存在的问题主要有三点：
一是臭氧发生元件均为沿面放电型，大多采用充惰性气体的玻璃管网式沿面放电臭氧管。这种臭氧器件在国外被称作臭氧灯，国外生产的此类发生器一般被安装在食品冷藏船上用以食品防霉保鲜。我国上世纪80年代开始生产此类器件，但是由于工艺不严格，存在臭氧发生能力衰减快的缺点，使用后臭氧发生量会越来越少，消毒效果很差，使用寿命短。但是，由于其生产简单、价格低廉，所以制药厂空气消毒设备的生产厂家仍以此进行低价竞争。
二是内置式发生器无气源，靠管道送风带走臭氧，臭氧量发生变动因素很难测定，厂家也只是估算其产量，设计参数很难保证。
三是由于湿度和尘埃的影响，使臭氧发生量加剧降低，并容易造成打火引燃过滤器等材料，从而引发事故。这种发生器的维护和修理也很困难。
