超纯水之战：芯片产业下一个“国产替代”高地

2026年下半年，芯片涨价潮仍在继续。据《第一财经》分析，AI算力的爆发带动了成熟制程产能需求持续增长，叠加供应链成本上行、“以国代进”发展战略落实等因素，共同将半导体行业推入量价齐升的上行周期。“狂欢”背后，不仅光刻机这类显性“卡脖子”难题持续引发热议，超纯水作为不可替代的工艺耗材，其国产化供应能力也成为产业链上下游关注的新焦点。

什么是超纯水？一颗芯片从砂子到成品，至少要经历七十多道工序。在工序与工序之间，晶圆都需要进行冲洗。这个环节用的水电阻率达18.2MΩ·cm(25℃)、杂质含量趋近理论极限，洁净度比饮用水高数千倍，成分无限接近于H2O，因此被称作“超纯水”。据测算，生产一片12英寸的晶圆大概要消耗掉2.5吨的超纯水，是晶圆厂一项重要的成本开支。

“超纯水关键水质指标一旦突破阈值，芯片生产良率会急速下降，很可能面临全厂停机风险，而一旦停机，可能就是数千万甚至上亿的损失。”从业者如是说。由于超纯水对于芯片生产必不可少，其国产化替代进程一直受到各方重视。机构分析指出，从“十四五”到“十五五”阶段，半导体产业链的自主可控被放置到了非常高的位置之上。超纯水作为基础性的配套材料，也被纳入到了这个逻辑范畴之中。

《节水装备高质量发展实施方案(2025—2030年)》指明，要“强化产学研用协同创新，集中攻克超纯水制备等关键技术难题，实现水质核心指标的精准控制”。日前，工信部等七部门印发通知，宣布开展2026年工业和信息化领域创新任务揭榜挂帅。面向科技前沿，“先进制程集成电路超纯水制备成套技术装备”要求出水水质达到电阻率不小于18.2MΩ·cm(25°C)、TOC≤0.5ppb、各种金属离子不高于1ppt，各项指数全面对标国际顶尖水平，且明确要攻克树脂、TOC—UV等关键设备系统集成难题。

政策大力支持下，企业积极采取行动。海纳环保EG膜系统能耗比进口品牌更低，而价格较同规格进口产品可细讲30%-50%，真正实现了“性能对标进口、性价比优势显著”。南方泵业答复投资者提问时表示，公司制造的国产超纯水泵已通过头部芯片大厂供应商验证并少量供货，未来将持续关注国内晶圆厂扩产带来的市场机遇。不过，从业者研判，半导体超纯水等新兴领域国产化率仍较低，目前处于初步推进阶段，放量尚需时间。

研究数据显示，国内半导体超纯水市场的规模从2020年的大约5亿元增长到2025年的16亿元，预估在2030年将会达到30亿元，其复合增长率超过16%。从数据走势和产业节奏来看，国内半导体超纯水市场正驶入高速增长赛道。半导体产业浪潮之下，这一关键配套，已然成为我国芯片产业链走向自主可控的关键一环。

未来，随着产学研用协同创新持续深化，关键技术难题不断攻克、核心指标持续精进，国产超纯水产业将有望逐步完成从“初步替代”向“高端领跑”的跨越，补齐半导体产业链细分领域的短板，为我国芯片产业自主可控注入强劲动能。